リチウムイオン2次電池材料の高分解能SEM観察のご案内

新型FE-SEMのリターディング機能を駆使することによって、近年電子デバイスでも多用される有機材料の微細構造観察の画像品質が格段に向上しました!

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カテゴリー: 材料分析 | 2019 年 8 月 30 日 金曜日

半導体の故障解析・構造解析 FESEMによる半導体PN極性(ドーパント)可視化技術のご紹介

FESEMによる半導体PN極性(ドーパント)可視化技術を確立しました!

観察装置:日立ハイテクノロジーズ製Regulus8220

以下に観察事例を掲載します。このように断面作製方法CP/FIB共に様々なデバイスにおいても可視化が可能です。ここにはないデバイスでもお気軽にご相談下さい。
(キャリア濃度により充分なコントラストが得られない可能性はありますので、詳細はお問い合わせ下さい。)

デバイス/断面作製 断 面 観 察 結 果
パワーデバイスの
アクティブ領域
(Si品、プレーナー型)

CP加工

 
メモリ素子(SRAM)
セル領域

FIB加工

 
表面照射型CMOS
イメージセンサー
画素領域

CP加工

 
多結晶Siによる
ツェナーダイオード

FIB加工
 

 

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カテゴリー: 材料分析 | 2019 年 7 月 26 日 金曜日

ICP-MS/MSによる部材中の微量不純物分析・評価

ICP-MS/MSは、従来のICP-MSでは困難であった様々な共存成分由来のスペクトル干渉を回避でき、各種部材中の微量元素分析に適用できます。

《適用事例》
シリコン中チタンの定量分析
リチウムイオン電池の活物質中不純物分析
電池触媒中の微量金属含有量分析 
試薬中の不純物分析         etc.

試料の様々な分解方法に対応します。
乾式分解(乾式灰化)
湿式分解(解放/密閉湿式灰化)
融解法(アルカリ融解)     etc.
※一部分解できない試料もあります。
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カテゴリー: 材料分析 | 2019 年 6 月 18 日 火曜日

~断面観察のご紹介~

CP、FE-SEM、FIB-TEMによる半導体・電子材料の断面観察(高機能フィルム、ガラス、ナノ粒子・パウダーなど)

イオンミリング(CP)とFE-SEM、FIB-TEMを組合わせた方法により、さまざまな電子材料の詳細断面観察・分析が可能です。

◆ ミリメートル~ナノメートルに対応した試料加工・観察・分析が可能です。

◆ 加工精度向上により、CPによる10μmの微小パターンを狙った断面観察も可能です。

◆ 新型FE-SEM(日立ハイテクノロージーズ製   Regulus8220)では、リターディング機能を用いることにより、試料の極表面観察と超高解像度を実現します。

〔用途〕
◆ 金属間合金層の観察・分析
◆ 研磨による試料作成が困難な亀裂やボイドの評価/観察
◆ 薄膜積層界面の観察/分析
◆ 応力に弱い試料(高機能フィルム等)の断面観察

+ +  

〔主な事例〕

FIB-TEM-EDXの観察分析事例

フィルム試料の断面観察事例

FESEMによる半導体PN極性(ドーパント)可視化事例

 

 

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カテゴリー: 材料分析 | 2019 年 6 月 7 日 金曜日

土壌汚染対策法 改正!お困りではありませんか?土壌汚染調査!!

どんな時に実施するの?

条件にもよりますが、
◇ 増築したい
◇ 土地を売りたい・買いたい
◇ 工場を閉鎖したい
     
といった時です。

専門的な言い方では、
◆ 特定施設を廃止するとき
◆ ある一定面積以上の土地改変を実施するとき

◆ 飲用等に使われている地下水汚染の汚染原因者であった場合  等々

法・条例によりその契機はまちまちです。

弊社では、電子産業界、自動車産業界、精密機器業界、製薬業界、不動産業界、クリーニング業界と幅広い業界での土壌汚染調査の実績があります。

2019年4月土壌汚染対策法が改正されました。今回の改正では、調査契機が増えると予想しています。

どんなサービスがあるの?

法、条例対応の調査・対策支援(実際の汚染対策は、親会社 (株)NECファシリティーズとの連携業務となります)は、もちろんのこと、

なかなか分かりづらい
◆ 行政対応支援(行政報告書作成業務含む)
◆ 土壌汚染対策法に準じた工事を実施するための支援業務 等々

まずはお気軽にご相談ください!
(※詳細は、土壌環境調査をご覧ください。)

 

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カテゴリー: 土壌環境調査 | 2019 年 5 月 22 日 水曜日