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◇断面TEM観察　半額キャンペーン実施中◇

　　　　期間：2020/4/10～2020/9/30

下記条件により定価の50％割引にて承ります。

【適用条件】
◎試料数：５試料一括でご依頼の場合
◎その他条件：下表のとおり

・観察は加速電圧200KV（固定）のSTEM装置になります。
・手法はマイクロサンプリング法になります。
・計測サービスは数量により応談とさせて頂きます。
・元素分析は別途となります。

《使用装置》
・FIB加工：FB-2100/FB-2000A（日立ハイテクノロジーズ製）
・STEM観察：HD-2000（日立ハイテクノロジーズ製）

◆ ご来社頂くことなくインターネット経由で立ち会い解析
　 （TEM観察、FE-SEM観察、EDX分析）が可能となりました。

◆ 観察・分析の視野をリアルタイムでご指示、ご確認いただけます。

◆ ご指定時間内、観察視野数に制限なく画像取得可能です。

◆ 同様のシステムによる分析前のweb会議も随時対応します。

イオンミリング（ＣＰ）とＦＥ-ＳＥＭ、ＦＩＢ－ＴＥＭを組合わせた方法により、さまざまな電子材料の詳細断面観察・分析が可能です。

◆ ミリメートル～ナノメートルに対応した試料加工・観察・分析が可能です。

◆ 加工精度向上により、ＣＰによる１０μmの微小パターンを狙った断面観察も可能です。

◆ 新型ＦＥ-ＳＥＭ（日立ハイテクノロージーズ製   Regulus8220）では、リターディング機能を用いることにより、試料の極表面観察と超高解像度を実現します。

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〔主な事例〕

＊ＦＩＢ－ＴＥＭ－ＥＤＸの観察分析事例＊

＊フィルム試料の断面観察事例＊

＊ＦＥＳＥＭによる半導体ＰＮ極性（ドーパント）可視化事例＊

➨断面観察の詳細はこちら

液体を専用のマイクロチャンバーに導入封止して透過型電子顕微鏡(TEM)で観察できます。
液体サンプルの様々な観察に対応致します。

POINT 凝集によりCa粒子のサイズ・分布は不明。

POINT 液中での観察により、牛乳中のCa粒子の形状・サイズ・分布を確認できました。 ナノインク、化粧品、薬品等、ナノ材料の液中分散性評価が可能になります。

ＦＥＳＥＭによる半導体ＰＮ極性（ドーパント）可視化技術を確立しました！

観察装置：日立ハイテクノロジーズ製Regulus8220

以下に観察事例を掲載します。このように断面作製方法CP/FIB共に様々なデバイスにおいても可視化が可能です。ここにはないデバイスでもお気軽にご相談下さい。
（キャリア濃度により充分なコントラストが得られない可能性はありますので、詳細はお問い合わせ下さい。）

デバイス／断面作製	断 面 観 察 結 果
パワーデバイスの アクティブ領域 (Si品、ﾌﾟﾚｰﾅｰ型) CP加工
メモリ素子(SRAM) セル領域 FIB加工
表面照射型CMOS イメージセンサー 画素領域 CP加工
多結晶Siによる ツェナーダイオード FIB加工