HOTトピックス

半導体製造における超純水・高純度薬液供給に使用されるポリマー部材に適用されるＳＥＭＩ　Ｆ57規格（Provisional Specification for Polymer Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems）に準拠したイオン汚染、金属汚染、TOC汚染の溶出試験（超純水封入、85℃、7日間溶出）を実施いたします。
（試験に用いる検体や容器、キャップ等の部材の準備についてはＳＥＭＩ　Ｆ40規格に準拠いたします）

この他、JIS T0304 金属系生体材料の溶出試験等、各種規格に基づく試験、塩酸やフッ化水素酸等、各種薬液による溶出試験などお客様ごとにカスタマイズした実験も承ります。

溶出試験結果の一連（サンプル：ＰＦＡ製パーツ）　（単位：μｇ/㎡）

詳しくは以下にお問い合わせください。

イオンミリングとＦＩＢ－ＴＥＭを組合わせた方法により

さまざまな電子材料の詳細断面観察・分析が可能です。

ミリメートル～ナノメートルに対応した試料加工・観察・分析が可能です。

加工精度向上により、ＣＰによる１０μmの微小パターンを狙った断面観察も可能となりました。

用途；①金属間合金層の観察・分析

②研磨による試料作成が困難な亀裂やボイドの評価/観察

③薄膜積層界面の観察/分析

④応力に弱い試料（高機能フィルム等）の断面観察

※新型ＦＥ-ＳＥＭ（日立ハイテクノロジーズ製　Regulus8220）を

導入いたします。

2017年12月導入、2018年1月から受託業務開始。

皆さまのお問い合わせをお待ちしております。

+ +  

【主な事例】

＊ＦＩＢ－ＴＥＭ－ＥＤＸの観察分析事例＊

＊フィルム試料の断面観察事例＊

ハイブリット車やクリーンディーゼルなど、自動車パワートレーンの高性能化・小型化が進む中、故障の原因となる粒子コンタミのないクリーンなコンポーネント（部品）への要求が高まっています。これら「自動車部品の清浄度検査」の方法としてはISO16232並びにドイツ自動車工業会VDA19が国際標準となっています。

弊社もこの度ISO16232並びにVDA19 Iに準拠した「自動車部品の清浄度検査」技術を確立しました。皆さまのお問い合わせをお待ちしております。

樹脂等の高分子材料について開発・解析を行うためには、熱分解挙動及び熱分解生成物等の情報を得ることが重要となります。当社では、プログラム昇温可能な熱分解装置（ダブルショットパイロライザー）を用い、発生ガスプロファイルの測定及びアウトガスの成分分析が可能です。

分析事例：ポリカーボネート（PC）のアウトガス分析

～クリーンルーム清浄度検査～

横型空調方式のHEPAフィルターリーク検査装置を

新たに開発！

従来のクリーンルームの空調方式ではダウンフロー方式が主流でありましたが、近年省エネルギー化、省コスト化がすすみ、横型空調方式のニーズが高まってきております。そこで、近畿分析センターではいち早く横型空調方式のフィルターリーク検査装置を開発し、横型空調方式にも対応できるようになりました。

この検査装置の開発により、手動でのリーク検査と比べ、精度も向上し検査時間が大幅に短縮され、様々な大きさや空調方式のリーク検査が対応可能となります。