2018 年 5 月 17 日 のアーカイブ


超微量分析のご紹介 「SEMI F57規格による溶出試験」

半導体製造における超純水・高純度薬液供給に使用されるポリマー部材に適用されるSEMI F57規格(Provisional Specification for Polymer Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems)に準拠したイオン汚染、金属汚染、TOC汚染の溶出試験(超純水封入、85℃、7日間溶出)を実施いたします。
(試験に用いる検体や容器、キャップ等の部材の準備についてはSEMI F40規格に準拠いたします)

この他、半導体製造に使用される各種薬品(硫酸、塩酸、フッ化水素酸、硝酸、アンモニア、過酸化水素水など)による溶出試験や、JIS T0304金属系生体材料の溶出試験、お客様ごとにカスタマイズした実験も承ります。

溶出試験結果の一連(サンプル:PFA製パーツ) (単位:μg/㎡)

分  析  項  目 規  格 結  果
臭化物 Br  ≦100  <10
塩化物 Cl  ≦3000  15
フッ素 (F/Acetate)  ≦60000 1000
硝酸塩 NO3  ≦100 <10
亜硝酸塩 NO2  ≦100 <10
リン酸塩 PO43-  ≦300 <10
硫酸塩 SO42-  ≦300 <10
アルミニウム Al  ≦10 <0.1
バリウム Ba  ≦15 <0.1
ボロン B  ≦10 <0.1
カルシウム Ca  ≦30 0.5
クロム Cr  ≦1 <0.1
Cu  ≦15 <0.1
Fe  ≦5 <0.1
Pb  ≦1 <0.1
リチウム Li  ≦2 <0.1
マグネシウム Mg  ≦5 <0.1
マンガン Mn  ≦5 <0.1
ニッケル Ni  ≦1 <0.1
カリウム K  ≦15 0.2
ナトリウム Na  ≦15 0.8
ストロンチウム Sr  ≦0.5 <0.1
亜鉛 Zn  ≦10 0.5
全有機炭素 TOC  ≦60000 1000

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株式会社近畿分析センター
滋賀県大津市晴嵐二丁目9番1号
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カテゴリー: 材料分析 | 2018 年 5 月 17 日 木曜日