超微量分析のご紹介 「SEMI F57規格による溶出試験」

半導体製造における超純水・高純度薬液供給に使用されるポリマー部材に適用されるSEMI F57規格(Provisional Specification for Polymer Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems)に準拠したイオン汚染、金属汚染、TOC汚染の溶出試験(超純水封入、85℃、7日間溶出)を実施いたします。
(試験に用いる検体や容器、キャップ等の部材の準備についてはSEMI F40規格に準拠いたします)

この他、半導体製造に使用される各種薬品(硫酸、塩酸、フッ化水素酸、硝酸、アンモニア、過酸化水素水など)による溶出試験や、JIS T0304金属系生体材料の溶出試験、お客様ごとにカスタマイズした実験も承ります。

溶出試験結果の一連(サンプル:PFA製パーツ) (単位:μg/㎡)

分  析  項  目 規  格 結  果
臭化物 Br  ≦100  <10
塩化物 Cl  ≦3000  15
フッ素 (F/Acetate)  ≦60000 1000
硝酸塩 NO3  ≦100 <10
亜硝酸塩 NO2  ≦100 <10
リン酸塩 PO43-  ≦300 <10
硫酸塩 SO42-  ≦300 <10
アルミニウム Al  ≦10 <0.1
バリウム Ba  ≦15 <0.1
ボロン B  ≦30 <0.1
カルシウム Ca  ≦20 0.5
クロム Cr  ≦1 <0.1
Cu  ≦15 <0.1
Fe  ≦5 <0.1
Pb  ≦1 <0.1
リチウム Li  ≦2 <0.1
マグネシウム Mg  ≦5 <0.1
マンガン Mn  ≦5 <0.1
ニッケル Ni  ≦1 <0.1
カリウム K  ≦15 0.2
ナトリウム Na  ≦15 0.8
ストロンチウム Sr  ≦0.5 <0.1
亜鉛 Zn  ≦10 0.5
全有機炭素 TOC  ≦60000 1000

詳しくは以下にお問い合わせください。

株式会社近畿分析センター
滋賀県大津市晴嵐二丁目9番1号
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カテゴリー: 材料分析 | 2020 年 5 月 26 日 火曜日

~断面観察のご紹介~

CP、FE-SEM、FIB-TEMによる半導体・電子材料の断面観察(高機能フィルム、ガラス、ナノ粒子・パウダーなど)

イオンミリング(CP)とFE-SEM、FIB-TEMを組合わせた方法により、さまざまな電子材料の詳細断面観察・分析が可能です。

◆ ミリメートル~ナノメートルに対応した試料加工・観察・分析が可能です。

◆ 加工精度向上により、CPによる10μmの微小パターンを狙った断面観察も可能です。

◆ 新型FE-SEM(日立ハイテクノロージーズ製   Regulus8220)では、リターディング機能を用いることにより、試料の極表面観察と超高解像度を実現します。

〔用途〕
◆ 金属間合金層の観察・分析
◆ 研磨による試料作成が困難な亀裂やボイドの評価/観察
◆ 薄膜積層界面の観察/分析
◆ 応力に弱い試料(高機能フィルム等)の断面観察

+ +  

〔主な事例〕

FIB-TEM-EDXの観察分析事例

フィルム試料の断面観察事例

FESEMによる半導体PN極性(ドーパント)可視化事例

 

 

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カテゴリー: 材料分析 | 2020 年 5 月 26 日 火曜日

断面TEM観察 半額キャンペーン実施中!

◇断面TEM観察 半額キャンペーン実施中◇

    期間:2020/4/10~2020/6/30

下記条件により定価の50%割引にて承ります。

【適用条件】
◎試料数:5試料一括でご依頼の場合
◎その他条件:下表のとおり

基 本 仕 様 備   考
試料素材 FIB加工可能な素材(応談) ・加工が難しいソフトマテリアルや低融点素材は不可
・ダイアモンド、SiC等の加工レートが低いものは応談
加工領域 ~幅20μm×高さ15μm ・左を超える場合も別途応談
観察視野数 ~7視野 ・信号はBF-STEM/HAADF/SEの3種
最大倍率 ~500K倍 ・500K倍を超える場合も別途応談可
納 期 応談 ・特急対応も応談

 

・観察は加速電圧200KV(固定)のSTEM装置になります。
・手法はマイクロサンプリング法になります。
・計測サービスは数量により応談とさせて頂きます。
・元素分析は別途となります。

《使用装置》
・FIB加工:FB-2100/FB-2000A(日立ハイテクノロジーズ製)
・STEM観察:HD-2000(日立ハイテクノロジーズ製)

 

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カテゴリー: 材料分析 | 2020 年 4 月 10 日 金曜日

TG-DTA,GC-TOFMSを新規導入

『高分子の物性試験』サービスの対応が可能になりました

TG-DTA(熱重量示差熱分析)

有機物、無機物における熱物性を捉えることができるため、品質評価や研究開発など広い範囲の試料について分析することが可能です。

◆部材評価
高分子(プラスチック)添加剤の構造解析

◆固体燃料電池
電解質膜の解析

◆食品
油脂や加工食品の酸化性評価・口どけ・なめらかさの測定

GC-TOFMS

GC-MSよりも測定質量範囲が広く、m/s 4000(原理上は上限なし)で測定が可能であるため、高分子分析にも適しています。
さらにTGと接続し、TG-TOFMSとして測定も可能なため、重量変化時に発生するアウトガスの高感度な定性分析も可能です。

◆部材からのアウトガス成分分析

◆REACH規則物質
PFOA・PFOSのスクリーニング分析

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カテゴリー: 材料分析 | 2020 年 4 月 3 日 金曜日

SEM,TEM観察 遠隔立会いサービス導入

◆ ご来社頂くことなくインターネット経由で立会い解析
  (TEM観察、FE-SEM観察、EDX分析)が可能となりました。

◆ 観察・分析の視野をリアルタイムでご指示、ご確認いただけます。

◆ ご指定時間内、観察視野数に制限なく画像取得可能です。

◆ 同様のシステムによる分析前のweb会議も随時対応します。

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カテゴリー: 材料分析 | 2020 年 4 月 3 日 金曜日