ウェーハ面内汚染分析

ICP-MS/MS分析

ICP-MS/MSによるウェーハ面内汚染分布の測定

最新のICP-MS/MSを活用して、ウェーハ面内の任意の箇所の高感度金属濃度測定が可能です。工程管理や不良解析の手段としてご活用ください。

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