ICP-MS/MSによる超高感度分析

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ICP-MS/MSによる超高感度分析

最新のICP-MS/MSを用いて、純水・薬液・ウェーハ表面等の超高感度分析を実施致します。長年半導体工場で培った超微量分析技術により、皆様の問題解決を支援致します。

分析事例

特徴

  • 定量下限としてppt~ppqの測定が可能

  • P,S,Si等軽元素の測定が可能

  • ナノ粒子の測定が可能

測定例

  • 半導体製造プロセスで用いられる純水や試薬の測定

  • 硬度な電子部品やバッテリ部分の高純度の希土類元素の測定

  • 硫黄、リンなどのヘテロ元素の測定による未知のタンパク質の定量

  • 食品サンプルに低濃度で含まれるヒ素やセレンの測定

  • 環境、食品、および生物系に存在するナノ粒子(NP)の測定

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