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使用分析装置一覧

分析装置 機能 応用
透過型電子顕微鏡(STEM)
日立製作所製 HD-2000
微小部分の観察 電子部品の微小異物観察・分析
結晶欠陥、結晶粒子の観察
集束イオンビーム加工観察装置(FIB)
日立製作所製 FB-2100・FB-2000A
試料の微細加工 透過型電子顕微鏡用試料の前加工
クロスセクションポリッシャー(CP)
日立ハイテクノロジーズ製 E-3500 
計2台
試料断面の作成 メッキ厚さの測定、金属間合金層の観察-分析
膜間異物の断面観察-分析、金属母材結晶粒界の確認
走査型電子顕微鏡(低真空SEM)
日立ハイテクノロジーズ製 S-3400N
表面観察・定性分析 低真空での試料表面観察、定性分析、線・面分析
電子線マイクロアナライザー(EPMA)
島津製作所製 EPMA-1400
SEM観察、定性分析
(点・線・面分析)
半導体素子の断面観察
付着異物の組成分析・元素の分布状態
走査型オージェ電子分光分析装置(SAM)
日本電子製 JAMP-30
表面分析、深さ方向分析
(点・線・面分析)
表面の酸化・腐食・汚染等の解析
薄膜・多層膜の層構造解析
薄膜・多層膜の膜界面状態の調査
フーリエ変換赤外分光分析装置(FT-IR)
パーキンエルマー製
  本体:spectrum100
  顕微IR:spectrum spotlight200
構造解析(微小部・薄膜可) 異物の有機定性分析
Siウェーハ中の酸素濃度
窒化膜中の水素濃度
蛍光X線装置(XRF)
島津製作所製 EDX-720
定性分析 各種部材の定性・半定量分析
RoHS指令スクリーニング分析
X線回折装置(XRD)
パナリティカル製 Panalitical X’PertPRO
結晶構造解析、定性分析
(微小部・薄膜可)
デバイス材料等の構造解析
異常部・析出物等の構造解析
石綿含有量の測定
グラファイトファーネス原子吸光光度計(GF-AAS)
バリアン製 SpectrAA-400
アナリティックイエナ製 ZEEnit650
金属定量分析(超微量分析) 純水中の超微量金属不純物分析
高純度薬液中の超微量金属不純物分析
ウェーハ表面の超微量金属不純物分析
誘導結合プラズマ発光分光分析装置(ICP-AES)
パーキンエルマー製 OPTIMA 3300XL
定量分析(金属元素) 薬液中の不純物分析
各種材料中の不純物分析
全有機炭素計(TOC計)
島津製作所製 TOC-5000他 計2台
トータル有機物量の測定 純水中のTOC測定
誘導結合プラズマ質量分析装置(ICP-MS)
Agilent Technologies 7500cs
金属定量分析(超微量分析) 純水中の超微量金属不純物分析
高純度薬液中の超微量金属不純物分析
ウェーハ表面の超微量金属不純物分析
イオンクロマトグラフ(IC)
日本ダイオネクス製 DX-500 計2台
イオン定量分析(超微量分析) 純水中の超微量アニオン不純物分析
ウェーハ表面の超微量アニオン不純物分析
環境汚染分子アンモニアの定量分析
液体クロマトグラフ質量分析装置(LC-MS)
Waters 2695-ZQ 
定量分析(有機物質) 環境汚染分子ホルムアルデヒドの定量分析
ガスクロマトグラフ質量分析装置(GC-MS)
日本電子製 JMS-K9
島津製作所 GCMS-QP2010 Plus 他 
計5台
定性・定量分析(有機物質) 環境汚染分子有機物質の定性・定量分析
キャリア等からの発生ガス有機物質分析
各種サンプルの微量VOC分析(水、大気、材料)
環境汚染分子有機物質の定性・定量分析
キャリア等からの発生ガス有機物質分析
高分解能ガスクロマトグラフ質量分析計
Micro Mass社製 AutoSpec-Utime
定量分析(有機物質) DXN類分析
キャピラリー電気泳動装置
大塚電子製 CAPI-3500
イオン定量分析 メッキ液、食品中のイオン成分の測定
マイクロウェーブ分解装置
パーキンエルマー製 マルチウェーブHF-50型
分析試料の分解 部材、食料品等の分解
ウェーハ表面気相分解(VPD)装置
NAS技研 VPDBOX-300-5M
ウェーハ表面の気相分解 ウェーハ表面金属汚染の分析
ウェーハ自動前処理装置
NAS技研 SC-2000
ウェーハ表面の自動回収 ウェーハ表面金属汚染の分析
自動燃焼装置
三菱化学アナリテック社製 AQF-2100H
イオン定量分析(ハロゲン分析) RoHS指令分析
薬液中のハロゲン分析
イオンクロマトグラフ(IC)
日本ダイオネクス製 ICS-2000
イオン定量分析(ハロゲン分析) RoHS指令分析
薬液中のハロゲン分析
株式会社近畿分析センター
滋賀県大津市晴嵐二丁目9番1号
お気軽にご相談ください 077-534-0651 担当:津田・安河内
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