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- 材料分析・評価 [超微量分析]
電子デバイス製造の微細化が進む中で、製造工程における清浄度管理の要求がますます高まっています。私たちはこれまで培ってきた経験と技術で、クリーンルーム等の環境中に存在する微量汚染物質やウェーハ表面の微量汚染物質などに対し信頼性の高い測定を行います。
- 純水や薬液の定期モニター
- クリーンルーム雰囲気中微量金属、イオン分析
- ウェーハ・金属製品表面微量金属濃度測定
- 白衣の洗浄効果確認試験
- 製品からのイオン、金属溶出試験
- 製品異常に関する、純水・薬液の分析
- ICP-MS/誘導結合プラズマ質量分析装置
- GF-AAS/グラファイトファーネス原子吸光光度計
- IC/イオンクロマトグラフ分析装置
- TOC/全有機炭素計

- 超微量分析室(クリーンルーム)

- ウェーハ自動前処理装置

- 誘導結合プラズマ質量分析装置
(ICP-MS)

- ウェーハ表面をVPD処理し回収した液を定性分析した結果
![[超微量分析] より高品質な製品のために](img/h1_micro_analysis.jpg)






