[超微量分析] より高品質な製品のために

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超微量分析

電子デバイス製造の微細化が進む中で、製造工程における清浄度管理の要求がますます高まっています。私たちはこれまで培ってきた経験と技術で、クリーンルーム等の環境中に存在する微量汚染物質やウェーハ表面の微量汚染物質などに対し信頼性の高い測定を行います。

分析事例

応用

  • 純水や薬液の定期モニター
  • クリーンルーム雰囲気中微量金属、イオン分析
  • ウェーハ・金属製品表面微量金属濃度測定
  • 白衣の洗浄効果確認試験
  • 製品からのイオン、金属溶出試験
  • 製品異常に関する、純水・薬液の分析

使用する機器

  • ICP-MS/誘導結合プラズマ質量分析装置
  • GF-AAS/グラファイトファーネス原子吸光光度計
  • IC/イオンクロマトグラフ分析装置
  • TOC/全有機炭素計
超微量分析室(クリーンルーム)
超微量分析室(クリーンルーム)
ウェーハ自動前処理装置
ウェーハ自動前処理装置
誘導結合プラズマ質量分析装置(ICP-MS)
誘導結合プラズマ質量分析装置
(ICP-MS)
ウェーハ表面をVPD処理し回収した液を定性分析した結果)
ウェーハ表面をVPD処理し回収した液を定性分析した結果
株式会社近畿分析センター
滋賀県大津市晴嵐二丁目9番1号
お気軽にご相談ください 077-534-0651 担当:津田・安河内
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