[有機分析] 高度な技術で安心をつくりだす

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有機分析

最新機器と高度なテクニックを駆使し、製造工程で発生する有機系異物や製品から発生する極微量有機ガスの定性・定量分析などを行います。

分析事例

応用

  • 微小異物の有機構造解析
  • デバイス発生ガスの定性・定量分析
  • ケミカルフィルターの効果確認
  • ウェーハ表面上変色部の変色原因調査
  • クリーンルーム内の有機物量管理
  • 有機系異物、有機ガスの定性・定量分析

使用する機器

  • GC-MS/ガスクロマトグラフ質量分析装置
  • FT-IR/フーリエ変換赤外分光分析装置

GC-MSの概要

ガスクロマトグラフ(GC)と質量分析装置(MS)を結合した装置で、GCで分離した単一成分をMSスペクトル測定をすることにより、より微量の成分を感度よく測ることができます。

ガスクロマトグラフ質量分析装置(GC-MS)
ガスクロマトグラフ質量分析装置
(GC-MS)

GC-MSの分析事例

放置ウェーハ表面のアウトガスを分析したところ環境汚染由来と考えられる有機物が多く検出されました。

FT-IRの概要

試料に赤外線を照射すると、特定の波長の光が構成分子に吸収されます。この吸収波長を測定することで試料の構造を知ることが可能です。

フーリエ変換赤外分光分析装置(FT-IR)
フーリエ変換赤外分光分析装置
(FT-IR)

FT-IR分析事例

半導体製品に付着した異物(20μm)を分析したところ、主成分はポリイミドであることがわかりました。

株式会社近畿分析センター
滋賀県大津市晴嵐二丁目9番1号
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