[断面観察-分析]断面から要因を追求する

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断面観察-分析

製品の微細化、多層化が進むにつれ、製品の断面構造の解析が重要になっています。クロスセクションポリッシャー(CP)は比較的広いエリアの綺麗な断面を作ることができる装置で、低真空SEMと組み合わせれば、本来の表面・断面の姿を確認することができます。

分析事例

応用

  • メッキ厚さの測定
  • 金属間合金層の観察-分析
  • 膜間異物の断面観察-分析
  • 金属母材結晶粒界の確認
  • 紙、フィルムの断面観察

使用する機器

  • CP/クロスセクションポリッシャー
    (日立ハイテクノロジーズ製 E-3500)
  • 低真空SEM/走査型電子顕微鏡
    (日立ハイテクノロジーズ製 S-3400N)

CPの概要

試料にマスクをかけ、上からアルゴンイオンで試料を削り、平滑な断面を作成する装置です。

クロスセクションポリッシャー(CP)
クロスセクションポリッシャー(CP)
走査型電子顕微鏡(低真空SEM)
走査型電子顕微鏡(低真空SEM)
ビームの照射角度90°のフラットリミング
ビームの照射角度90°のフラットミリング

CP-加工 SEM観察事例

ミクロンレベルの金属間合金層の観察-分析ができました。

分析事例

定性分析
定性分析
点分析×1
点分析×1
面分析
  • 面分析
  • 面分析
  • 面分析
  • 面分析

CP-SEM観察箇所をさらにFIB-TEMで加工 - 観察した事例

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CP試料断面TEM観察
CP試料断面TEM観察

ナノレベルの金属間合金層の観察-分析ができました。

株式会社近畿分析センター
滋賀県大津市晴嵐二丁目9番1号
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