断面観察 | 株式会社近畿分析センター

HOME
材料分析・評価 [断面観察-分析]

製品の微細化、多層化が進むにつれ、製品の断面構造の解析が重要になっています。クロスセクションポリッシャー（CP）は比較的広いエリアの綺麗な断面を作ることができる装置で、低真空SEMと組み合わせれば、本来の表面・断面の姿を確認することができます。

メッキ厚さの測定
金属間合金層の観察-分析
膜間異物の断面観察-分析
金属母材結晶粒界の確認
紙、フィルムの断面観察

CP／クロスセクションポリッシャー
（日立ハイテクノロジーズ製Ｅ-3500）
低真空SEM／走査型電子顕微鏡
（日立ハイテクノロジーズ製Ｓ-3400Ｎ）

試料にマスクをかけ、上からアルゴンイオンで試料を削り、平滑な断面を作成する装置です。

: クロスセクションポリッシャー（CP）
: 走査型電子顕微鏡（低真空SEM）
: ビームの照射角度90°のフラットミリング

ミクロンレベルの金属間合金層の観察-分析ができました。

定性分析
点分析×1

面分析

1
2

CP試料断面TEM観察

ナノレベルの金属間合金層の観察-分析ができました。