表面分析 | 株式会社近畿分析センター

各種製品の製造工程で発生する異物混入や変色等のトラブルに対し経験豊富なスタッフが問題解決のための適切な解析手法をご提案いたします。

試料に電子を照射することにより、原子核内からオージェ電子が放出されます。このオージェ電子は試料の浅い所から放出されるため、極表面の元素分析が可能です。

メタル剥がれウェーハを分析したところ、TiNの層間に「C」、「O」が存在することがわかり、これが剥がれの原因と考えられました。

試料にX線を照射することにより、原子核内から2次X線が放出されます。このX線の波長やエネルギーを測定することにより、試料の定性分析・定量分析が可能です。

ウィスカの断面をマッピングしたところ下地の半田成分と同じ元素が検出されました。

試料に高エネルギーのX線を照射することにより、試料中の元素から元素固有の低エネルギーのX線が発生します。このX線の粒子エネルギーと粒子数を測定することにより、試料の定性分析・定量分析が可能です。