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断面FIB-TEM観察の低価格サービス

5試料以上一括(類似解析)にて低価格サービス (当社通常価格の約半額!)承ります。 
 ・観察は加速電圧200KV(固定)の STEM装置になります。
 ・手法はFIB加工によるマイクロサンプリング法になります。 
 ・計測サービスは数量により応談とさせて頂きます。 
 ・元素分析は別途となります。 

基本仕様
備考
試料素材
FIB加工可能な素材(応談)
・加工が難しいソフトマテリアルや低融点素材は不可 
加工領域
~幅20um×高さ15um
・左を超える場合も別途応談
観察視野数
~7視野
・信号はBF-STEM/HAADF/SEの3種
最大倍率
~500K倍
・500K倍を超える場合も別途応談可
納期
応談
・特急対応も応談

【観察事例】半導体チップの断面

BF-STEM像

HAADF像

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