2019 年 6 月 のアーカイブ


ICP-MS/MSによる部材中の微量不純物分析・評価

ICP-MS/MSは、従来のICP-MSでは困難であった様々な共存成分由来のスペクトル干渉を回避でき、各種部材中の微量元素分析に適用できます。

《適用事例》
シリコン中チタンの定量分析
リチウムイオン電池の活物質中不純物分析
電池触媒中の微量金属含有量分析 
試薬中の不純物分析         etc.

試料の様々な分解方法に対応します。
乾式分解(乾式灰化)
湿式分解(解放/密閉湿式灰化)
融解法(アルカリ融解)     etc.
※一部分解できない試料もあります。
株式会社近畿分析センター
滋賀県大津市晴嵐二丁目9番1号
お気軽にご相談ください 077-534-0651
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カテゴリー: 材料分析 | 2019 年 6 月 18 日 火曜日

~断面観察のご紹介~

CP、FE-SEM、FIB-TEMによる半導体・電子材料の断面観察(高機能フィルム、ガラス、ナノ粒子・パウダーなど)

イオンミリング(CP)とFE-SEM、FIB-TEMを組合わせた方法により、さまざまな電子材料の詳細断面観察・分析が可能です。

◆ ミリメートル~ナノメートルに対応した試料加工・観察・分析が可能です。

◆ 加工精度向上により、CPによる10μmの微小パターンを狙った断面観察も可能です。

◆ 新型FE-SEM(日立ハイテクノロージーズ製   Regulus8220)では、リターディング機能を用いることにより、試料の極表面観察と超高解像度を実現します。

〔用途〕
◆ 金属間合金層の観察・分析
◆ 研磨による試料作成が困難な亀裂やボイドの評価/観察
◆ 薄膜積層界面の観察/分析
◆ 応力に弱い試料(高機能フィルム等)の断面観察

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〔主な事例〕

FIB-TEM-EDXの観察分析事例

フィルム試料の断面観察事例

FESEMによる半導体PN極性(ドーパント)可視化事例

 

 

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カテゴリー: 材料分析 | 2019 年 6 月 7 日 金曜日