FE-SEMによる食品の観察

ソフトマテリアル～エレクトロニクス

日立ハイテク　Regulus8220



電子部品に限らず食品や有機物等やわらかい素材を蒸着無しで観察できます。

  • ◆ソフトマテリアル(食品関連の観察事例)

    •                      定性分析やマッピングが可能です。

                  表面だけでなく断面からの観察が可能です

  • ◆エレクトロニクス(半導体・電子部品の観察事例)

    •                      従来機種での観察像

    　　　           本機種での観察像

◆エレクトロニクス(ドーパントの観察事例)

                        デバイス断面のドーパントエリアを観察可能です。

          パワーデバイス(Si)
         -アクティブ領域-

           SRAM
            -セル領域-

      表面照射型CMOSｲﾒｰｼﾞｾﾝｻｰ 
      －画素領域－

              ツェナーダイオード 
              （Poly-Si）