FE-SEMによるドーパントの可視化

・断面観察はCP/FIB共に対応できます。
・Si～ワイドバンドギャップ材料に対応できます。


キャリア濃度により充分な解像度が得られない可能性もありますので詳細はお問合せ下さい。


観察装置：日立ハイテクノロジーズ製　Regulus8220