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ウェーハ表面の金属汚染量測定
ICP-MS/MS分析
親水面ウェーハにも対応可能になりました。 最新のICP-MS/MSを活用して、ウェーハ面内の任意の箇所の高感度金属濃度測定が可能です。工程管理や不良解析の手段としてご活用ください。
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