ICP-MS/MSによる超高感度分析
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ICP-MS/MSによる超高感度分析
最新のICP-MS/MSを用いて、純水・薬液・ウェーハ表面等の超高感度分析を実施致します。長年半導体工場で培った超微量分析技術により、皆様の問題解決を支援致します。
分析事例
特徴
定量下限としてppt~ppqの測定が可能
P,S,Si等軽元素の測定が可能
ナノ粒子の測定が可能
測定例
半導体製造プロセスで用いられる純水や試薬の測定
硬度な電子部品やバッテリ部分の高純度の希土類元素の測定
硫黄、リンなどのヘテロ元素の測定による未知のタンパク質の定量
食品サンプルに低濃度で含まれるヒ素やセレンの測定
環境、食品、および生物系に存在するナノ粒子(NP)の測定
検出下限
※H2O2中の元素を想定(アジレントのアプリケーションデータより)
装置
Agilent8900トリプル四重極ICP-MS/MS
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