純水・薬液等の超高感度分析｜株式会社近畿分析センター
ICP-MS/MSによる超高感度分析
組成分析・超微量分析
ICP-MS/MSによる超高感度分析
最新のICP-MS/MSを用いて、純水・薬液・ウェーハ表面等の超高感度分析を実施致します。長年半導体工場で培った超微量分析技術により、皆様の問題解決を支援致します。
◆特徴
定量下限としてppq～pptの測定が可能
Ｐ，Ｓ，Ｓｉ等軽元素の測定が可能
ナノ粒子の測定が可能
高マトリックスサンプルもマスシフトによる高感度分析が可能
◆測定例
半導体製造プロセスで用いられる純水や試薬の測定
硬度な電子部品やバッテリ部分の高純度の希土類元素の測定
硫黄、リンなどのヘテロ元素の測定による未知のタンパク質の定量
食品サンプルに低濃度で含まれるヒ素やセレンの測定
環境、食品、および生物系に存在するナノ粒子（ＮＰ）の測定
検出下限
※H2O2中の元素を想定（アジレントのアプリケーションデータより）
装置
Agilent8900トリプル四重極ICP-MS/MS
◆JIS K 0557-1998用水・排水の試験に用いる水の分析事例
分析・研究に用いる水、A1～A4の水質測定を承ります。
定量下限値の一例
より高感度な定量下限値のご相談など、お問合せを承ります。
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