SEMI F57規格による溶出試験

SEMI F57規格は前回版（SEMI F57-0120）で、アンモニウムイオン、ヒ素、アンチモン、カドミウム、チタン、すず、バナジウムの分析項目追加と、従来分析項目の基準値の強化が行われました。今回の最新版（SEMI F57-0622）では分析項目や基準値の変更はなく、ペレットの表面積値の取扱い注意点などが追加されました。
最新版対応による試験のご相談、お見積依頼をお待ちしております。

SEMI F57-0622に準拠したイオン汚染、金属汚染、TOC汚染の溶出試験（超純水による85±5℃、７日間溶出）を実施します。

試験結果の一例

分析結果一覧表

　試料：サンプル(PFAパーツ)

分析項目		基準	結果(単位：μg/m2)
アンモニウム	NH4+	≦100	<10
臭素	Br-	≦100	<10
塩素	Cl-	≦100	25
フッ素	F-	≦20000	1100
硝酸	NO3-	≦100	<10
亜硝酸	NO2-	≦100	<10
リン酸	PO43-	≦100	<10
硫酸	SO42-	≦100	<10
アルミニウム	Al	≦5	<0.1
ヒ素	As	≦2	<0.1
アンチモン	Sb	≦2	<0.1
バリウム	Ba	≦15	<0.1
ホウ素	B	≦30	0.5
カドミウム	Cd	≦2	<0.1
カルシウム	Ca	≦10	0.5
クロム	Cr	≦1	<0.1
銅	Cu	≦10	<0.1
鉄	Fe	≦5	0.9
鉛	Pb	≦1	<0.1
リチウム	Li	≦2	<0.1
マグネシウム	Mg	≦2	<0.1
マンガン	Mn	≦5	<0.1
ニッケル	Ni	≦1	<0.1
カリウム	K	≦10	<0.1
ナトリウム	Na	≦10	<0.1
ストロンチウム	Sr	≦0.5	<0.05
チタン	Ti	≦2	<0.1
錫	Sn	≦2	<0.1
バナジウム	V	≦2	<0.1
亜鉛	Zn	≦5	<0.1
全有機炭素	TOC	≦40000	<300
溶出液量			10.0mL
接液部表面積			0.010m2

その他の溶出試験

半導体製造に使用される各種薬液（硫酸、塩酸、フッ化水素酸、硝酸、アンモニア、過酸化水素水など）による溶出試験やSEMI C90（液体化学分配システムで使用されるパーフルオロアルコキシ（PFA）材料のテスト仕様）による試験など、お客様ごとにカスタマイズした試験も承ります。

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